无掩模亚微米光刻机成套设备
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
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当前状态
待报废 -
管理员
张明 13319502535 -
放置地点
岳麓校区物电楼A108
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
无掩模亚微米光刻机成套设备
资产编号
20094124
型号
*
规格
产地
中国
厂家
中国
所属品牌
出产日期
购买日期
2009-11-16
所属单位
物理与微电子科学学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
张明
联系电话
13319502535
联系邮箱
754809453@qq.com
放置地点
岳麓校区物电楼A108
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
设备分五大类：1.软件3套291000元.2.模块5种310400元.3.硅片定位平台6套532830元.4.平台 龙门共3套156430元.5.外壳 对焦系统 图形发生器 调整架278600元。
主要功能及特色
XT-1250是全液压驱动，自动化电气控制，四柱卧式结构的热挤压加工设备，适用于铝、镁等有色金属型材的挤压加工。
样本检测注意事项
用于随机分布电极对的无掩模曝光
设备使用相关说明
800元/小时
备注
由本实验室操作员操作
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公告
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