电子束蒸发镀膜系统
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11133/小时总时长
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1/人收藏者
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收费标准
机时280元/小时 -
设备型号
Labline -
当前状态
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管理员
朱小莉,潘安练 15873112622 -
放置地点
岳麓校区材料学院楼
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束蒸发镀膜系统
资产编号
1518685S
型号
Labline
规格
Labline
产地
美国
厂家
Kurt J. Lesker
所属品牌
Kurt J.Lesker/科特莱思科
出产日期
购买日期
2015-05-30
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
朱小莉 潘安练
联系电话
15873112622
联系邮箱
zhuxiaoli@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区材料学院楼
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1．SS304圆筒形不锈钢真空腔室.2．泵抽系统采用前级10.6cfm机械泵+主泵685 L/S分子泵组合，极限真空可达5X10-7 Torr.3．全量程真空计可测量大气至10-9Torr,自动量程切换.4．一台4 x 8cc电子枪，功率不小于5KW,固态电容电源. 电子束蒸发源坩埚到样品台距离不小于400mm,以适用于金属剥离工艺.5．基片最大尺寸不小于6英寸,要求有适合不规则碎片样品的夹具;气动基片挡板.6．基片水冷功能.7．膜厚控制仪，配置一个标准晶振探头; 可程序控制沉积速度和膜厚.8．全自动程序控制系统; 集成总控电源,配紧急制动按钮,安全互锁装置
主要功能及特色
主要用于微观组织分析，实现微纳米尺度的显微分析功能，配合图形发生器实现电子束曝光功能。
样本检测注意事项
服务于多种电学，光学器件制备过程中金属薄膜的蒸镀需求
设备使用相关说明
280元/小时。
备注
请提前打电话咨询所需蒸发料实验室是否有提供（费用另计）。蒸发料也可自备。
预约资源
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公告
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