电子束曝光机
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4/人使用者
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304/次总次数
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54011/小时总时长
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7/人收藏者
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收费标准
机时1130元/小时 -
设备型号
Raith 150 Two -
当前状态
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管理员
陈艺勤,段辉高,潘安练,朱小莉 15211044249 -
放置地点
岳麓校区新化工楼新化工楼D-101
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束曝光机
资产编号
1518687S
型号
Raith 150 Two
规格
产地
德国
厂家
Raith
所属品牌
出产日期
购买日期
2015-12-25
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
段辉高
联系电话
15211044249
联系邮箱
duanhg@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区新化工楼新化工楼D-101
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
TFE filament with beam size ≤ 1.6 nmBeam current range 5 pA–20 nABeam energy 20 eV–30 keVStage travel range 150 x 150 x 20 mmCurrent density ≥ 7,500 A/cm2Current stability ≤ 0.5 % / 8 hoursMinimum line width < 8 nm guaranteedStitching accuracy ≤ 35 nm (mean +3 σ)Overlay accuracy ≤ 35 nm (mean +3 σ)
主要功能及特色
静态加载，动态加载，自动加载
样本检测注意事项
微纳加工
设备使用相关说明
1130元/小时。
备注
请按照仪器设备规程操作！
机台管理（化工院）
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