场发射扫描电子显微镜
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42/人使用者
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489/次总次数
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1510/小时总时长
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48/人收藏者
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收费标准
机时300元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
JSM7610FPULS -
当前状态
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管理员
邹可 15386096582 -
放置地点
岳麓校区创新大楼一层107显微成像实验室一
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
场发射扫描电子显微镜
资产编号
2214506S
型号
JSM7610FPULS
规格
产地
厂家
日本电子
所属品牌
日本电子
出产日期
购买日期
所属单位
分析测试中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
邹可
联系电话
15386096582
联系邮箱
zouk@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区创新大楼一层107显微成像实验室一
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1. 浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子枪，二次电子像分辨率:0.8nm(15kV);1.0nm(1kV)
2.加速电压:01kV~30kV连续可调
3.束流范围:热场发射电子枪lpA~200nA，分析效率高
4.放大倍率25X -1,000,000X;放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能
5.样品台:5轴马达驱动全对中样品台。移动范围:X=70mm:Y=50mm:Z=40 mm:T=-5~70";R=360，示意图在监视器上显示
6.标配高位电子探测器，低位电子探测器，同时标配能量过滤器，可以混合二次电子及背散射电子信号
7.成像模式:同时得到二次电子像、背散射电子像，GB模式等
8.配备可拉伸式背散射电子探测器
9.配备NGPS系统
2.加速电压:01kV~30kV连续可调
3.束流范围:热场发射电子枪lpA~200nA，分析效率高
4.放大倍率25X -1,000,000X;放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能
5.样品台:5轴马达驱动全对中样品台。移动范围:X=70mm:Y=50mm:Z=40 mm:T=-5~70";R=360，示意图在监视器上显示
6.标配高位电子探测器，低位电子探测器，同时标配能量过滤器，可以混合二次电子及背散射电子信号
7.成像模式:同时得到二次电子像、背散射电子像，GB模式等
8.配备可拉伸式背散射电子探测器
9.配备NGPS系统
主要功能及特色
对金属、非金属等无磁性材料进行高分辨成像测试，配备NGPS系统可进行电子束曝光测试
样本检测注意事项
样品处理干净、保持干燥、无磁性
设备使用相关说明
校内300/小时，校外400/小时
备注
预约请加QQ群：891516831
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检测项目
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公告
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