场发射扫描电子显微镜7610

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    总次数
  • 3166/小时
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收费标准

机时
300元/小时
送样
详见检测项目

设备型号

JSM7610FPULS

当前状态

管理员

陈庆伶 13787063140

放置地点

岳麓校区创新大楼一层107显微成像实验室一
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名称

场发射扫描电子显微镜7610

资产编号

2214506S

型号

JSM7610FPULS

规格

产地

厂家

日本电子

所属品牌

日本电子

出产日期

购买日期

所属单位

分析测试中心

使用性质

科研

所属分类

资产负责人

陈庆伶

联系电话

13787063140

联系邮箱

放置地点

岳麓校区创新大楼一层107显微成像实验室一
  • 主要规格&技术指标
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  • 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1. 浸没式肖特基(Schottky)热场发射电子枪,二次电子像分辨率:0.8nm(15kV);1.0nm(1kV)
2.加速电压:01kV~30kV连续可调
3.束流范围:热场发射电子枪lpA~200nA,分析效率高
4.放大倍率25X -1,000,000X;放大倍数粗、细模式连续可调,具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能
5.样品台:5轴马达驱动全对中样品台。移动范围:X=70mm:Y=50mm:Z=40 mm:T=-5~70";R=360,示意图在监视器上显示
6.标配高位电子探测器,低位电子探测器,同时标配能量过滤器,可以混合二次电子及背散射电子信号
7.成像模式:同时得到二次电子像、背散射电子像,GB模式等
8.配备可拉伸式背散射电子探测器
9.配备NGPS系统
主要功能及特色
对金属、非金属等无磁性材料进行高分辨成像测试,配备NGPS系统可进行电子束曝光测试
样本检测注意事项
样品处理干净、保持干燥、无磁性
设备使用相关说明
校内300/小时,校外400/小时
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