场发射扫描电子显微镜系统
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7916.24/小时总时长
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收费标准
机时603元/小时 -
设备型号
ZEISS Sigma 300 -
当前状态
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管理员
姜潮,王晓钢,何世慧 13787200045 -
放置地点
岳麓校区轻气炮楼202
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
场发射扫描电子显微镜系统
资产编号
2101461S
型号
ZEISS Sigma 300
规格
分辨率：≤1.0nm@15KV，≤1.8nm@1KV,加速电压范围：20V－30kV，连续可调，放大倍数：10X~1000000X，连续可调
产地
德国
厂家
ZEISS/德国
所属品牌
出产日期
购买日期
2019-02-18
所属单位
机械与运载工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
何世慧
联系电话
13787200045
联系邮箱
zhicheng@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区轻气炮楼202
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1电子枪：Schottky热场发射灯丝，自动聚焦，有倾斜校正功能；
2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计；
3分辨率：≤1.0nm@15KV，≤1.8nm@1KV(非样品台减速模式)；应提交用于分辨率计算的标准样品测试结果图；
4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式；
5束流范围：3pA-20nA 连续可调；稳定度：优于0.2% h；
6减震方式：气垫式减震系统；
7镜筒设计要求满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨率观测，以及EBSD不更换模式的使用；
8放大倍数：10X~1000000X，连续可调，无需更换模式；
9物镜光阑：数量不少于6孔的光阑，电磁式更换与对中，可通过软件更换光阑孔径调节束流，而非手动调节；
10最大电子束位移量不小于±15 μm；
11样品室尺寸(不小于)：内部直径365mm，高度275mm；
12最大样品尺寸(不小于)：直径250mm，高度140mm；
13样品台：五轴全自动马达驱动样品台，移动范围：X, Y方向 ≥125 mm，Z方向 ≥50 mm，倾斜范围 ≥-10°~90°，可360°旋转；
14样品台最大承重：≥5kg；
15配置马达台双操纵杆控制器及多功能旋钮操作控制面板；
16样品座：标配有单样品座，具备导航功能的多孔样品座；
17探测器：不少于四个探测器，分别为1)环形高效完全内置式正光轴In-lens二次电子探测器；2)样品室内ET二次电子探测器；3) HDBSD五象限高灵敏度背散射电子探测器；4)样品室内红外CCD摄像机(能与电镜控制软件实现一体化控制)
18具有样品电流探测器；
19配备必要的机械泵、分子泵、离子泵等；
20电子枪真空度达到10-7 Pa量级；
21样品室真空度：≤2×10-4 Pa量级；
22显示图像分辨率：≥1024×768像素；
23最大存储图像分辨率：≥32768×24576像素；
24自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空规：潘宁规×1, 皮拉尼规×1；
24冷却系统：配备必要的空气压缩机、冷却水循环系统等，用于冷却镜筒及其它部件；
25可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿、图像降噪处理；
1. EBSD分析功能：具有晶体结构模拟、晶粒尺寸、极图、ODF、取向差、晶界分析等
2. 全部的高级表征工具，由电子衍射得到的EBSD专用数据库：>500个相结构。
3. 在线最高解析标定速度优于3000点/秒。
4. 分析元素范围:Be4~Cf98；低能端最低探测能量可达到92eV。
5. 最大载荷：2kN，力分辨率：1N。
6. 拉伸速度：0.3μm/s-50μm/s。
7. 试验温度范围：室温～＋600℃。
8. 具有拉伸台软件MicroTest，可对于拉伸速率、拉伸力大小等进行设定，并最终得到相应应力-应变曲线及数据。
2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计；
3分辨率：≤1.0nm@15KV，≤1.8nm@1KV(非样品台减速模式)；应提交用于分辨率计算的标准样品测试结果图；
4加速电压范围：20V－30kV，连续可调，无需更换模式；
5束流范围：3pA-20nA 连续可调；稳定度：优于0.2% h；
6减震方式：气垫式减震系统；
7镜筒设计要求满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨率观测，以及EBSD不更换模式的使用；
8放大倍数：10X~1000000X，连续可调，无需更换模式；
9物镜光阑：数量不少于6孔的光阑，电磁式更换与对中，可通过软件更换光阑孔径调节束流，而非手动调节；
10最大电子束位移量不小于±15 μm；
11样品室尺寸(不小于)：内部直径365mm，高度275mm；
12最大样品尺寸(不小于)：直径250mm，高度140mm；
13样品台：五轴全自动马达驱动样品台，移动范围：X, Y方向 ≥125 mm，Z方向 ≥50 mm，倾斜范围 ≥-10°~90°，可360°旋转；
14样品台最大承重：≥5kg；
15配置马达台双操纵杆控制器及多功能旋钮操作控制面板；
16样品座：标配有单样品座，具备导航功能的多孔样品座；
17探测器：不少于四个探测器，分别为1)环形高效完全内置式正光轴In-lens二次电子探测器；2)样品室内ET二次电子探测器；3) HDBSD五象限高灵敏度背散射电子探测器；4)样品室内红外CCD摄像机(能与电镜控制软件实现一体化控制)
18具有样品电流探测器；
19配备必要的机械泵、分子泵、离子泵等；
20电子枪真空度达到10-7 Pa量级；
21样品室真空度：≤2×10-4 Pa量级；
22显示图像分辨率：≥1024×768像素；
23最大存储图像分辨率：≥32768×24576像素；
24自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空规：潘宁规×1, 皮拉尼规×1；
24冷却系统：配备必要的空气压缩机、冷却水循环系统等，用于冷却镜筒及其它部件；
25可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿、图像降噪处理；
1. EBSD分析功能：具有晶体结构模拟、晶粒尺寸、极图、ODF、取向差、晶界分析等
2. 全部的高级表征工具，由电子衍射得到的EBSD专用数据库：>500个相结构。
3. 在线最高解析标定速度优于3000点/秒。
4. 分析元素范围:Be4~Cf98；低能端最低探测能量可达到92eV。
5. 最大载荷：2kN，力分辨率：1N。
6. 拉伸速度：0.3μm/s-50μm/s。
7. 试验温度范围：室温～＋600℃。
8. 具有拉伸台软件MicroTest，可对于拉伸速率、拉伸力大小等进行设定，并最终得到相应应力-应变曲线及数据。
主要功能及特色
可直接服务于汽车车身先进设计制造重点实验室和机械与运载工程学院的汽车结构设计及优化、汽车CAE理论与应用、车身材料制造等研究方向，可服务机械工程、力学、土木工程、材料科学与工程等专业学生。实时观察材料变形过程中的微观形貌变化、晶粒取向变化、组织成分演变，以及裂纹的萌生和扩展行为等，具备能谱分析(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)以及SEM扫描电镜观察及力学性能（拉伸）测试的功能。可将实时获取的SEM图像与应力-应变曲线进行对比分析，用于研究材料拉伸过程中的显微结构演化、微裂纹的萌生与扩展过程等。可利用高温测试模块，研究材料在高温环境下的微观力学行为，如高温蠕变-应力松弛、合金材料相变行为等。
设备使用相关说明
蔡司场发射扫描电子显微镜：500元/小时
牛津电子背散射衍射：600元/小时
牛津能谱仪：500元/小时
原位拉伸试验：800元/小时(室温)、1000元/小时(高温，最高600℃)
*使用能谱常规微区成分分析超过2点，另加20元/点/样；线、面分析超过2线、1面，另加50元/线、75元/面
牛津电子背散射衍射：600元/小时
牛津能谱仪：500元/小时
原位拉伸试验：800元/小时(室温)、1000元/小时(高温，最高600℃)
*使用能谱常规微区成分分析超过2点，另加20元/点/样；线、面分析超过2线、1面，另加50元/线、75元/面
预约资源
附件下载
公告
同类仪器
