1. 光学显微镜部分
1.1正置式反射全电动光学显微镜。
1.2 配有闭环反馈装置，确保步进的精确性，显微镜Z方向最小步进精度为10nm。
1.3 电动扫描台：台面尺寸为310mm x 220mm，行程为130 mm x 85 mm ，最大移动速度为25 mm/s，分辨率为0.1um
1.4 电动7位物镜转盘，可同时安装7个物镜；
1.5 电动6位观察方式模块转盘，满足多种观察方式应用；
1.6 显微镜观察方式：反射光明场、高级暗场；
1.7 物镜：选用反差增强系列，增加短波长透光率，提高图像的分辨率。
（1）5X反射光多功能物镜，数值孔径为0.13，工作距离为11.8mm；
（2）10X反射光多功能物镜，数值孔径为0.25，工作距离为9.0mm；
（3）20X反射光共聚焦专用物镜，数值孔径为0.5，工作距离为2.2mm；
（4）50X反射光共聚焦专用物镜，数值孔径为0.95，工作距离为0.22mm；
（5）100X反射光多功能物镜，数值孔径为0.9，工作距离为1.0 mm；
1.8目镜：采用宽视野平场10x目镜，每个目镜的屈光度均可独立调节，标配目镜罩，视野为23。
2. 激光共聚焦部分
2.1激光器系统
2.1.1激光器组成：配有半导体激光器，405 nm附近激光器，光纤端输出功率为5mw。
2.1.2激光器强度调节：无需人工调节，完全实现了软件调节和控制，可根据实际情况进行调节1%到100%的调节，稳定性高。
2.2扫描检测系统
2.2.1成像通道：配有高信噪比MA-PMT（多碱基光电倍增管）探测器。
2.2.2扫描器组成：X、Y轴分别采用高灵敏性、高精度独立的检流计（Galvo）双扫描振镜，采用超快线扫及帧飞回技术。
2.2.3扫描分辨率下限32x1，最高为6144x6144，可连续调节。最大扫描分辨率为3700万像素。
2.2.4具有扫描变倍功能，范围0.5x-40x,调节步进精度为0.1x。
2.2.5具有扫描旋转功能，图像可360度扫描自由旋转，且调节精度为0.1度。同时可以变倍以及在XY方向移动扫描区域。旋转、变倍、移动中心均可以实时（扫描过程中）进行。
2.2.6具有智能共聚焦针孔：针孔可以根据光切层的不同厚度调节直径大小，调节范围1μm-450μm连续可调；针孔可以通过软件实现自动对中校准，无需人工手动调节。
2.3软件分析系统
2.3.1图像扫描模式：在三维扫描时，可通过计算机控制对样品进行三维预扫描
2.3.2图像采集模式：包括但不限于点扫描、直线扫描、面扫描、Z轴堆栈扫描，时间序列扫描以及XY, XYZ, XYT, XYZT等扫描。
2.3.3图像处理：可进行多种运算，加减乘除，比率，转换，滤波（低通，平均，高通，也可以用户自定义）。
2.3.4图像显示：平面视图（XY,XZ,YZ单独显示），剖面视图（可任选空间角度截取剖面），可调整明亮度和对比度，可对输出文档进行编辑。
2.3.5图像分析：可测量任意直线与曲线的长度，角度，面积，强度等参数。
2.3.6数据存档：文件浏览器可管理图像及其相关采集参数，多重打印功能可创建图像与数据组合视图；可保存超过20种文件格式(TIF, BMP, JPG, PSD, PCX, GIF, AVI,Quicktime ) ，兼容各类普通图像处理程序。
2.3.7样品分析专用模块：
三维表面形貌软件模块：可获得三维表面形貌图及高度图（地形图），并增加多种测量功能（粗糙度、表面积、体积）。