感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机
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1174/次总次数
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3519/小时总时长
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5/人收藏者
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收费标准
机时439元/小时 -
设备型号
M45150-2/UM -
当前状态
降档 -
管理员
王俊,梁世维 13873154000 -
放置地点
岳麓校区
- 仪器信息
- 附件下载
- 公告
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名称
感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机
资产编号
1614278S
型号
M45150-2/UM
规格
*
产地
中国
厂家
中国电子科技集团第四十八研究所
所属品牌
出产日期
购买日期
2016-12-01
所属单位
电气与信息工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
王俊
联系电话
13873154000
联系邮箱
1034582041@qq.com
放置地点
岳麓校区
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
(1) 适用样品尺寸：单片，最大6〞(2) 装片量：1片/批(3) 刻蚀介质：掺杂硅、氮化硅、PR (4) 等离子体源：电感耦合等离子体源（ICP源），功率2.5kW，频率13.56MHz，自动匹配偏压电源：功率500W，频率13.56MHz，自动匹配(5) 气路系统：8路（CHF3、C4F8、SF6、O2、He、N2、Ar），质量流量计控制(6) 真空系统：分子泵+机械泵机组(7) 极限真空：优于5E-4Pa(8) 工作真空：0.1～10Pa (9) 样品冷却：水冷+He背吹冷却(10) 刻蚀均匀性：≤±5%（6〞内） (11) 安全控制：真空泵组、阀门互锁保护，冷却水断水、水压低报警，CDA压力低报警(1
主要功能及特色
采用两台机器人，配备特制加工刀具，能够在协作控制系统的控制下完成复杂工件的对金属异形工件的协作加工动作，实现粗加工精度0.05mm，高精度加工精度0.005mm以上的高精度加工。机器人之间通过通信总线连接，实时共享轨迹和位置信息，实时控制机器人轨迹动作，能够协调完成复杂动作群，实现相互避让，相互协同动作。在一个机器人手爪上配备多种加工刀具，可切换不同刀具按预先设定轨迹对工件进行精密加工，具备伺服力矩感知功能和机器人轨迹实时自动修正功能，能够模拟人手进行柔性精密加工，而又不丢失加工精度。通过多机器人柔性实时感
样本检测注意事项
应用于SiC、SiO2、多晶硅、硅、半导体材料、部分金属等材料的刻蚀工艺，在MEMS器件制造中用作Si的通孔刻蚀等。
设备使用相关说明
免费对院内师生开放。
备注
用户需遵守大精仪实验室管理规定，并在完成该台设备使用的操作培训后，严格按操作流程使用仪器。
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公告
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