超高真空低温扫描探针显微镜已安装、调试、验收完毕，目前已投放到湖南大学大型仪器共享平台，可预约使用。该系统可以在低温（5K-300K）超高真空环境（10-11 Torr）下实现对样品表面结构表征、高分辨STM谱学研究。目前可以进行原子尺度局域STM/STS测试。

一、仪器简介

图 1 超高真空低温扫描探针显微镜

制造商：德国Createc

型号：LT-STM-AFM-N

主要规格&技术指标：

1. 扫描探针显微镜工作温度范围为4.8K-500K，其最大极限扫描面积在液氦温度下1.2μm×1.2μm，在77 K时为2.5μm×2.5μm，在室温下为5μm×5μm。
    2. 探针在x、y、z方向的粗移动范围为±2mm×±2 mm×6 mm（工作温度范围）。
    3. 样品操纵台同时具备直通电流加热、辐射加热方式，同时具有液氮/液氦冷却功能。样品温度范围：15K-1100K；提供特制样品台适用于硅片直接电流加热，温度可达到 1500K。
    4. 样品绕Z轴旋转范围±180度，样品台X，Y 方向移动范围±10mm，Z方向在腔体之中移动范围400mm，以满足所有实验要求。

二、安装地点

      物电学院A132

三、预约方式

      通过“湖南大学大型仪器设备共享平台”http://sbgx.hnu.edu.cn/网上注册、预约使用。

四、联系人

      秦志辉（zhqin@hnu.edu.cn，18062591790 ）

五、收费标准

六、样本检测注意事项

       该系统涉及超高真空、低温、极低振动等诸多精密技术，因此，预约进行超高真空低温扫描探针显微镜测试服务，要求如下：

      1. 样品须是导体或者半导体且具有一定的刚性，要求干燥无可挥发成分；

      2. 样品标准尺寸长、宽、厚为10 mm×2.5 mm×1 mm，宽度须≦2.5 mm，厚度最大1.5 mm；

     3. 因该设备正常工作情况下以200 nm×200 nm区域扫描，所以待测结构须尽量高密度分布在样品上，请提供OM和SEM照片以判断表面粗糙度优于5 nm每4万平方纳米为佳（表面粗糙度过大会影响针尖探测），以样品整个表面是同一种结构为佳，以便寻找到待测结构（往往该过程花费很多机时），以尽可能缩短样品扫描时间；

     4. 样品从大气环境传入超高真空（真空度优于2×10-10 mbar）环境，需要一定的机时，传入超高真空腔体内后需要加热至100℃以上以除掉表面附着的水气以及污染物，故待测样品须至少耐100℃温度。