场发射扫描电子显微镜具有超高分辨率，主要用于纳米材料的电子显微学研究，在高真空条件下对样品进行直接的超高分辨显微形貌观察和微区元素分析，被广泛地应用于纳米科学、冶金学、物理学、材料科学、机械学、地质学、矿物学、生命科学和半导体等多种领域。

一、设备简介

^*制造商：

日本日立

^*型号：

S-4800

^*主要规格和技术参数：

50. 二次电子分辨率: 1.4 nm (1 kV，减速模式)，1.0 nm (15 kV)
50. 电子枪: 冷场发射电子源
50. 加速电压: 0.5至30 kV(0.1KV/步，可变)
50. 放大倍率: ×20至×800,000
50. 束流强度：1 pA至2 nA
50. 物镜光栏：加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏
50. 最大样品尺寸：100 mm
50. 材料成分分析：配备X射线能谱仪，分辨率/有效面积不低于133 eV，30 mm²。

图1场发射扫描电子显微镜Hitachi S-4800

二、基本工作原理

    扫描电子显微镜由电子枪发射出电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再经过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。

图2 扫描电子显微镜工作原理图

三、测试要求

1. 样品必须是干燥的，含水样品必须预先烘干；

2. 样品表面不能含有有机油脂类污染物；

3. 不接受磁性样品；

4. 样品表面必须导电。对于导电性差的样品，用户可自行进行喷金处理，本电镜室暂无此项服务。

四、收费标准

五、运行时间

正常工作日上午9:00至11:30，下午2:30至5:30

六、预约使用说明

1.预约方式：

湖南大学大型仪器设备共享平台http://sbgx.hnu.edu.cn及微信预约助手

2.安装地点：

生物纳米中心（老数学楼）一楼东侧

3.联系人：彭伟（pengwei@hnu.edu.cn，13975081927或13517480988）