. 设备技术性能
1.1 ALD设备腔体技术性能
1.1腔体结构采用双腔体结构，即真空腔+反应腔结构。反应腔安装于真空腔内部。所有加热元件均安装于反应腔外部。反应腔为全热壁，加热方式采用外部环绕对称式辐射加热模式，以确保反应腔内部在任何位置上温度的一致性。
★1.2真空腔外壁为全冷壁，在设备的正常运行时，真空腔外壁温度不超过 35℃，腔体漏率低于 10-6mbar.L/s。真空腔外壁配置有循环水冷却功能，无隔热材料，以保证操作的安全性并避免因隔热材料中的纤维或粉尘的扩散对实验室净化间造成影响。
1.3设备反应腔体最高加热温度为 500℃。工艺温度范围为室温之 500℃。反应腔的控制精度在±2℃。
1.4在正常的工艺操作过程中真空腔压力始终大于反应腔压力，以防止前驱体的泄漏。
★1.5 腔体通过门阀系统与基底传片装置集成以满足在不打开反应腔体的情况下装卸样品， 提高设备的使用效率并保证操作人员和实验室的安全。样品的传送通过Load-Lock 系统完成。
2.气体管路技术性能
2.1前驱源气体管路满足有毒性气体或易燃性工艺气体的适用要求。管路包括质 ALD阀、压力传感器、气动脉冲阀、不锈钢管路和 VCR 连接器等配置。
2.2所有工艺气体管路均采用电抛光不锈钢材料。所有联接接头均采用金属密封。工艺气体管路满足易燃以及有毒性前驱气体的使用要求。软硬件配置相应的安全互锁功能， 以满足非兼容性气体的使用要求。真空压力系统配置双安全互锁硬件、供气管路配置双互锁隔离阀。前驱体管路具有自动净化功能。
2.3为确保在 ALD 阀切断后 ALD 阀和反应腔之间的管路内没有前躯体残留，减少或避免对前驱体管路的清洗维护，在设备的前驱体管路系统中配置在线自动净化系统。投标人需提供文件和示意图说明净化系统的工作原理。
3.加热前驱源管路
3.1加热前驱体料源系统均配置加热、保温和温度控制系统，以保证前驱源不在管路中冷凝。
3.2加热料源装置及其与之相联接的管路的最高加热温度须为 300℃，配备温控管路、高温脉冲阀门与热绝缘器，加热温度可以设定和控制，控制精度为±2℃。
3.3加热源料瓶须采用AISI316 不锈钢材料。加热源料瓶的容积 580ml。
3.4在更换料瓶前后，管路及其与之相联接的管路和阀门系统须具有在线净化功能，以方便料源的更换。
4.常温液态前驱源管路
★4.1每个常温液态料源装置均配制循环水水浴装置，以稳定低蒸发压液态源温度。温度控制精度：±1℃。
4.2常温液态源料瓶采用 AISI316 不锈钢材料。容积：200ml。
4.3在更换料瓶前后，管路及其与之相联接的管路和阀门系统须具有在线净化功能，以方便料源瓶的更换。
5.基底传片系统
5.1 适用于最大晶圆基底直径为200mm及其以下尺寸基底的传片需要
5.2 包含手动操纵杆和传片叉
5.3 包含门阀和气动基底提升系统
5.4 满足与手套箱集成的要求
6.真空泵系统
6.1提供原装进口干式真空泵。
6.2最大抽速≥100m3/h
6.3极限压力≤2x10-2mbar
6.4提供真空泵与主机控制系统的集成
7.循环水冷却器
7.1提供用于真空腔外壁冷却和液态源水浴
7.2冷却水温度控制精度±2℃
7.3冷却器功率：2.1KW @ 20℃
8.臭氧发生器及其管路
8.1配置臭氧发生器和气柜，气柜中配置排风口
8.2臭氧发生器与主机控制系统集成，并配备臭氧消除器。臭氧发生器的臭氧产能： 8g/小时，（100g/Nm3）。臭氧管路中包含压力调节器、转子流量计、气动脉冲阀等必要装置。
9. 手套箱
9.1 手套箱型号：MBRAUN Unilab 1950/780
9.2带有气体净化系统的手套箱，用于在氧气和水分<1 ppm的受控气氛下工作。包括O2和H2O分析仪。
9.3 内部工作空间尺寸：1950 x 780 x 920 mm（宽x深x高）
9.4 手套箱主体材料：不锈钢。
9.5 气体净化器：1过滤单元，PLC控制。
9.6 循环鼓风机：84 m3 / h，包括水冷热交换器，变频控制器。
9.7 控制单元（PLC）：西门子S7-300
9.8自动箱压力控制：-15 至 +15 mbar
9.9 操作面板：5.7英寸 触摸屏，单色
9.10 手套位（穿通孔）：4个，直径220 mm，含丁基手套1件。
9.11 含1个真空泵（带油雾过滤器的油封，12 m3 / h真空泵）
9.12 通过TFS 200 ALD设备的门阀与手套箱集成。
10. 真空泵前端尾气处理及过滤系统
10.1 包含固体废物收集容器，过滤器元件、气动阀和液位指示。
10.2连续的水蒸汽供给，用于降解和灭活所有与水反应的前驱体物质。
10.3旋转马达，用于保持过滤器清洁。
10.4安装在工艺真空泵和原子层沉积设备之间, 保持真空泵免受颗粒残余物的污染。