白光干涉仪
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31/人使用者
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129/次机时次数
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170/小时总时长
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0/次送样次数
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68/人收藏者
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
CONTOUR X-100 -
当前状态
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管理员
郭蕾 18896516559 -
放置地点
岳麓校区创新大楼一层113光学实验室
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
白光干涉仪
资产编号
2023027
型号
CONTOUR X-100
规格
产地
厂家
所属品牌
布鲁克
出产日期
购买日期
所属单位
分析测试中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
郭蕾
联系电话
18896516559
联系邮箱
leiguo@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区创新大楼一层113光学实验室
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
1. 内置两个独立的长寿命LED光源，根据不同工作模式的可以单独或同时激发。
2. 垂直分辨率：≤0.01nm Ra；RMS重现性：0.01nm。
3. 垂直方向单次测量量程：≥10mm，全量程闭环控制可以一次拼接而非压电陶瓷与多次拼接方式。
4. 垂直扫描速度：≥37微米/秒；台阶测试精度：≤0.75%（8µm以上的台阶高度测试准确性）。
5. 样品台具有角度调整功能，倾斜调制范围：≥±5°（Tip/Tilt）
6. 样品台XY移动范围≥150mm×150mm；
7. CCD：像素≥500万，阵列≥1200 x 1000；粗糙度测试RMS重复性：≤0.03nm。
8. 配备10倍干涉物镜和8um标准台阶各1个。
2. 垂直分辨率：≤0.01nm Ra；RMS重现性：0.01nm。
3. 垂直方向单次测量量程：≥10mm，全量程闭环控制可以一次拼接而非压电陶瓷与多次拼接方式。
4. 垂直扫描速度：≥37微米/秒；台阶测试精度：≤0.75%（8µm以上的台阶高度测试准确性）。
5. 样品台具有角度调整功能，倾斜调制范围：≥±5°（Tip/Tilt）
6. 样品台XY移动范围≥150mm×150mm；
7. CCD：像素≥500万，阵列≥1200 x 1000；粗糙度测试RMS重复性：≤0.03nm。
8. 配备10倍干涉物镜和8um标准台阶各1个。
主要功能及特色
可进行磨损体积、磨损形貌、磨损深度、表面粗糙度等数据定量分析，相互独立使用而互不影响；采用白光干涉测量原理，包含三种工作模式：垂直扫描干涉测量模式、相移干涉测量模式；自适应通用测量模式。
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