1. 温度范围：10K-500K，单冷头制冷机闭循环制冷。
2. 探针臂配置：4个直流探针臂，可进行直流到50MHz的射频测量，探针臂的漏电流要求小于100fA，整体带有50欧姆的匹配阻抗；2个微波臂，室温端采用1.85mm型接头，低温端采用GSG微波探针，支持到67GHz的微波信号激励和测量。
3. 磁场其它性能：① 50mm内磁场与样品座成90°，②.全磁场范围此探针落针分辨率优于5μm。③.基础温度和高温磁场指标：＜10K@2.5T@6个臂；400K-500K@1T@6个臂。
4. 温控系统：①两台336温控仪，具有4通道独立输入和两通道分别为50W和100W的加热输出。②.样品台上带有校准的砷化镓温度传感器和50W加热器。③.超导磁体带有校准的Cernox传感器和100W加热器。④.防辐射屏上带有标准硅二极管传感器和50W低温高精度专用加热器。⑤.二级冷头带有A级硅二极管传感器。⑥.一级冷头上带有标准硅二极管传感器和100W低温高精度专用加热器。⑦.探针臂上带有一个标准的SD封装硅二极管传感器。
5. 显微镜系统：①.光学分辨率优于3.1µm; ②.带有同轴光和环形光两种光源。
6. CV选件：包含一套CV测试选件，增加了S-2T探头及C-V线缆等，在高达1兆赫的CV测量中，其开路/短路补偿可以有效的校正测量平台的影响。
7 霍尔测试模块：①.电阻测量范围：10mΩ-1GΩ；②.迁移率测量范围：10-2-106cm2/Vs；③.载流子浓度范围：800/cm3 to 8×1023/cm3；④.霍尔测量方法：FastHall 测试法（无物理反转磁场）、传统DC磁场测试方法（范德堡样品）；
8半导体器件分析仪模块：①.模块化设计，可以扩展，插槽数不少于10个。②.半导体器件分析仪包含3个高分辨率源/测量单元；③.高分辨率源/测量单元的最小电流测量分辨率≤1fA；④.高分辨率源/测量单元的最小电压测量分辨率≤0.5 μV。
9阻抗分析仪模块：①.频率范围：20Hz至10MHz；②.基本阻抗测试精度（典型值）：≤±0.045%; ③..阻抗测量范围（10% 测量精度范围）：25 mΩ 至 40 MΩ ④.可扫描参数包括：频率、 信号电压、 信号电流、 直流偏置电压、 直流偏置电流等;
10 矢量网络分析仪模块：①.主机频率范围10MHz到67GHz，2端口;②.动态范围典型值可达139dB@1 GHz;③.端口输出功率范围：–80dBm到+16dBm（典型值+20dBm）（10MHz到4GHz）,–80dBm到+13dBm（典型值+18dBm）（4GHz到20GHz）,–80dBm到+12dBm（典型值+15dBm）（20GHz到25GHz）;④. 功率扫描范围可达80dB；⑥. 原装DC到67GHz校准件一套，高精度柔性稳相线缆两根；⑦. 相位轨迹噪声/°（RMS@1KHz IFBW）：0.006（40GHz到67GHz）；⑧. 幅度轨迹噪声/dB（RMS@1KHz IFBW）：0.001（50MHz到43.5GHz）；
11同步源表模块：①.通道数量：4通道，最高支持六个模块配套使用；②.同步时序：所有通道同步速率为375KHz（2.67μs）；③.源通道功能:直流，正弦，三角形(最高5kHz)，正 方形（最多5kHz）;④.源通道频率范围:100µHz至100kHz;⑤.测量通道功能：直流，交流(RMS，峰值)，或锁定(X和Y、R和Θ)
12可调单色光源：①.1000W氙灯光源，含氙灯灯泡、光源室及稳压电源;②.短焦距高光通量单色仪，可安装2块光栅，可自动切换；③.单色仪焦距≤200mm，配电动滤光片轮和光源与单色仪光学耦合装置；