扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)
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698/次机时次数
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1427.35/小时总时长
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0/次送样次数
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371/人收藏者
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
EM-30/X-ACT -
当前状态
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管理员
费慧龙,李鹏博 15379100640 -
放置地点
岳麓校区曾宪梓楼101
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
- 同类仪器
名称
扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)
资产编号
2102747S
型号
EM-30/X-ACT
规格
5nm 分辨率
产地
中国
厂家
COXEM
所属品牌
出产日期
购买日期
2020-12-17
所属单位
化学化工学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
费慧龙
联系电话
15379100640
联系邮箱
lipengbo26@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区曾宪梓楼101
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
设备用途：
对材料进行形貌表征及定量分析
主要技术指标及特点：
EM-30AX Plus高分辨率台式（桌面式）扫描电镜可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
主要参数：
1、光学系统
1.1、光源：自动控制，钨丝阴极，预对中灯丝。
1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。
1.3、分辨率 ：5.0nm @30kV SE
1.4、放大倍数：20x-150,000x
1.5、加速电压：1kv - 30kv （1-30kV，每1KV一个步进，样品适应性更强，元素分析更准确更高效）
1.6、磁透镜系统：双聚光镜
物镜光阑： 4位可移动，摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转： +/-50um ，0-360°
2、样品室系统
2.1、样品室：6个接口，可接配内外置EDS。
2.2、样品台：X=35mm（马达驱动）， Y= 35mm（马达驱动），T=0-45°（马达驱动）， R=360°，Z=5-50mm
2.3、样品尺寸(最大)：直径60mm， 高度45mm
3、真空系统
全自动 (真空时间: 小于3分钟)
前级真空：旋转机械泵
高真空：涡轮分子泵真空系统
4、探测器系统
4.1探测器：
标配二次电子（SE）、背散射电子（BSE），可选配能谱（EDS）；SE： E-T型二次电子探测器；BSE：可伸缩的高灵敏四分割半导体背散射电子探测器；具备光学导航
4.2扫描模式：
聚焦（160x120 pixel）
选区（320x240 pixel）
TV全屏扫描模式：（640 x 480pixel）
三档全屏慢扫模式：（800x600 pixel）
照相模式：（1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 pixel）
示波器扫描模式
4.3、图像格式：JPG、TIFF、BMP
图像显示器：21.5" LCD 显示器
4.4、自动控制功能：
电子枪饱和
电子枪对中
电子枪偏压
亮度对比度
聚焦
4.5、工作距离：4-50mm
4.6、控制系统：USB通讯接口计算机控制，Dell i3 PC，21.5英寸显示器，独立显卡 2G内
对材料进行形貌表征及定量分析
主要技术指标及特点：
EM-30AX Plus高分辨率台式（桌面式）扫描电镜可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。
主要参数：
1、光学系统
1.1、光源：自动控制，钨丝阴极，预对中灯丝。
1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。
1.3、分辨率 ：5.0nm @30kV SE
1.4、放大倍数：20x-150,000x
1.5、加速电压：1kv - 30kv （1-30kV，每1KV一个步进，样品适应性更强，元素分析更准确更高效）
1.6、磁透镜系统：双聚光镜
物镜光阑： 4位可移动，摇摆对中
扫描光栅电位移及旋转： +/-50um ，0-360°
2、样品室系统
2.1、样品室：6个接口，可接配内外置EDS。
2.2、样品台：X=35mm（马达驱动）， Y= 35mm（马达驱动），T=0-45°（马达驱动）， R=360°，Z=5-50mm
2.3、样品尺寸(最大)：直径60mm， 高度45mm
3、真空系统
全自动 (真空时间: 小于3分钟)
前级真空：旋转机械泵
高真空：涡轮分子泵真空系统
4、探测器系统
4.1探测器：
标配二次电子（SE）、背散射电子（BSE），可选配能谱（EDS）；SE： E-T型二次电子探测器；BSE：可伸缩的高灵敏四分割半导体背散射电子探测器；具备光学导航
4.2扫描模式：
聚焦（160x120 pixel）
选区（320x240 pixel）
TV全屏扫描模式：（640 x 480pixel）
三档全屏慢扫模式：（800x600 pixel）
照相模式：（1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 pixel）
示波器扫描模式
4.3、图像格式：JPG、TIFF、BMP
图像显示器：21.5" LCD 显示器
4.4、自动控制功能：
电子枪饱和
电子枪对中
电子枪偏压
亮度对比度
聚焦
4.5、工作距离：4-50mm
4.6、控制系统：USB通讯接口计算机控制，Dell i3 PC，21.5英寸显示器，独立显卡 2G内
主要功能及特色
形貌表征、元素分析
设备使用相关说明
校内：150元/小时，喷金75一锅
校外：300元/小时，喷金100一锅
校外：300元/小时，喷金100一锅
预约资源
附件下载
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