原子层沉积系统
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3/人使用者
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8/次机时次数
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498/小时总时长
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0/次送样次数
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13/人收藏者
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收费标准
机时597元/小时 -
设备型号
NCE-200R -
当前状态
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管理员
段辉高,赖嘉杰 15211044249 -
放置地点
岳麓校区两山一湖
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
原子层沉积系统
资产编号
1908340S
型号
NCE-200R
规格
NCE-200R
产地
中国
厂家
东莞纳锋微电子装备有限公司
所属品牌
出产日期
2019-05-10
购买日期
2019-05-06
所属单位
机械与运载工程学院
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
段辉高 赖嘉杰
联系电话
15211044249
联系邮箱
duanhg@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区两山一湖
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
1、真空腔体。2、前驱体汇流装置和前躯体管路。3、压力调节停留模式兼容性。4、薄膜沉积参数与沉积模式间的切换。5、真空系统，尾气处理及控制。6、预留扩展功能附件加载接口（供客户后期升级系统）
主要功能及特色
原子层沉积系统主体、原子层沉积系统自动控制系统、真空获得系统、反应源瓶、TMA反应源、TiCl4反应源
设备使用相关说明
597元/小时，校内用户按照校外用户价格的50%收费
预约资源
附件下载
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