三维光学显微镜
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95/人使用者
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710/次机时次数
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2385.51/小时总时长
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0/次送样次数
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195/人收藏者
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收费标准
机时150元/小时 -
设备型号
LSM900 -
当前状态
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管理员
郭蕾 18896516559 -
放置地点
岳麓校区创新大楼一层113光学实验室
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
三维光学显微镜
资产编号
2302752S
型号
LSM900
规格
产地
德国
厂家
ZEISS
所属品牌
ZEISS
出产日期
购买日期
所属单位
分析测试中心
使用性质
科研
所属分类
资产负责人
郭蕾
联系电话
18896516559
联系邮箱
leiguo@hnu.edu.cn
放置地点
岳麓校区创新大楼一层113光学实验室
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1. 光学显微镜部分
1.1正置式反射全电动光学显微镜。
1.2 配有闭环反馈装置，确保步进的精确性，显微镜Z方向最小步进精度为10nm。
1.3 电动扫描台：台面尺寸为310mm x 220mm，行程为130 mm x 85 mm ，最大移动速度为25 mm/s，分辨率为0.1um
1.4 电动7位物镜转盘，可同时安装7个物镜；
1.5 电动6位观察方式模块转盘，满足多种观察方式应用；
1.6 显微镜观察方式：反射光明场、高级暗场；
1.7 物镜：选用反差增强系列，增加短波长透光率，提高图像的分辨率。
（1）5X反射光多功能物镜，数值孔径为0.13，工作距离为11.8mm；
（2）10X反射光多
1.1正置式反射全电动光学显微镜。
1.2 配有闭环反馈装置，确保步进的精确性，显微镜Z方向最小步进精度为10nm。
1.3 电动扫描台：台面尺寸为310mm x 220mm，行程为130 mm x 85 mm ，最大移动速度为25 mm/s，分辨率为0.1um
1.4 电动7位物镜转盘，可同时安装7个物镜；
1.5 电动6位观察方式模块转盘，满足多种观察方式应用；
1.6 显微镜观察方式：反射光明场、高级暗场；
1.7 物镜：选用反差增强系列，增加短波长透光率，提高图像的分辨率。
（1）5X反射光多功能物镜，数值孔径为0.13，工作距离为11.8mm；
（2）10X反射光多
主要功能及特色
在微米和亚微米级别，用于材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。可获得被观测样品的微观二维形貌图像、微观三维形貌图像、微观三维轮廓与地形图像。将采样数据运算后,可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。其应用领域非常广泛，主要为样品微观表面3D观察和测量，样品包括MEMS（微电子机械系统）、半导体、太阳能、晶体、玻璃、液晶，金属材料、陶瓷、化学材料。
样本检测注意事项
样品表面避免有酸碱等腐蚀性液体，液体类样品注意不要洒到机器上
设备使用相关说明
校内150元/小时，校外300元/小时
备注
预约请加QQ群：892288328
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公告
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